第552章 新光刻机测试（第1 / 2页）
几分钟后，“嘀——”一声长鸣，光刻机自检结束，智能控制程序启动，两片石墨烯晶圆先后被光刻机“吞”了进去，在精密机械臂的夹持下，精准的放置于双工件台上。而后专用扣具锁紧晶圆，设备内光华不断闪烁，光刻流程正式开启。
这次加工的石墨烯内存芯片，制程工艺比较低，结构比较简单，光刻过程几乎都是一遍过，不需要进行套刻、3d累积之类的复杂操作，所以加工起来速度个外的快，一片石墨烯晶圆的完整光刻流程，也不过是几个眨眼的时间。所以这20片测试石墨烯晶圆，相当不顶用，仅仅开机工作了几分钟，就全部光刻完成。
林孟松再次走上前，将光刻完成的石墨烯晶圆收起来，放入专用盒子，而后带着盒子，来到下一道工序设备面前，进行后面的显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。全部流程走下来，已经是一个小时之后的事情了。进入生产线的时候，是二十片晶莹剔透的石墨烯晶圆，出来的却是一小堆黑不溜丢的芯片，摆在众人面前，只看卖相，确实有些对不起观众。“这些内存芯片的数量是不是太少了一些，20片晶圆至少可以加工出几百枚石墨烯内存芯片吧，这里怎么才这么一点？”看到成品只有这么一小堆，姚院士提出了他的疑惑。
“老王，听说你们北大芯片实验室里，也有一条石墨烯芯片实验生产线，跟这条生产线相比如何？”姚院士用肩膀碰了碰旁边的王院士，开口询问道。
“差不多吧，我们那条生产线，也是乔瑞达赠送给学校的，设备方案都差不多，产能稍稍高一些。满足我们学校师生的流片需求足够了，偶尔还能对外承接一些石墨烯芯片流片测试业务，贴补一下实验费用。”说到自家学校的石墨烯芯片生产线，王院士那是相当自豪，要知道，目前全世界就两个地方能够生产成熟的石墨烯芯片，其中一个自然是瑞芯晶圆厂，而另一个地方，就是他带领的北大芯片实验室。
“别人是学生沾导师的光，蹭设备，蹭经费，到了你这里，完全反了过来，换成学生给导师提供设备，提供技术。你就得意吧，收了乔瑞达当弟子，那还真是应有尽有。”
“呵呵，我说老姚，你这话怎么那么酸。乔瑞达能来我们北大读书，能够成为我的研究生，那都是我们争取来的。像是乔瑞达这样妖孽的学生，几十年也就诞生了这一个，你就是羡慕也羡慕不来。”
对于石墨烯芯片的生产过程，那几位院士和研究员从未见过，看的自然是津津有味。但是差不多的场景，乔瑞达不知看过几十几百遍，丝毫提不起半点兴趣。无聊的度过了两个小时，二十片测试用的石墨烯晶圆，经过几十道工序的加工，终于轮到了光刻工序。
只能等到明天开机生产测试之后，再以提醒的方式慢慢告诉他们了。众人又在芯片实验室内等待了一个多小时，直到光刻机完成全部安装工作，这才有些不舍的离开实验室，各自散去。按照他们的意愿，恨不得当天晚上就开启生产线，进行光刻测试才好。奈何这里是瑞芯晶圆厂，而不是他们团队在京城的实验室，什么时候开启芯片生产线，什么时候对这台光刻机，进行测试，都要瑞芯晶圆厂这边的负责人说了才算。
一夜无话，第二天，乔瑞达再次来到瑞芯晶圆厂，跟王院士、姚院士等人汇合，一起换上无尘服，进入芯片实验室。以林孟松为首的几十名来自瑞芯晶圆厂的研究员，比他们更先进入实验室，此时已经在芯片生产线上忙碌起来，预热机器，准备物料，调整部份设备的参数，为接下来的光刻机测试做准备。
乔瑞达走到林孟松的身边，开口询问道：“林总监，准备的如何了？”
听到声音，林孟松转过头，看到是乔瑞达，连忙点头问好道：“乔总，您来啦，已经准备完毕，随时可以开启测试。”
乔瑞达满意的点点头，说道：“好，那就马上开始吧，那几位院士已经有些等不及了。对了，你们打算生产哪种石墨烯芯片，进行测试？”
乔瑞达强打起精神，跟随几位院士，来到了那台橙色涂装的光刻机面前。一位瑞芯晶圆厂的研究员，将一个装满石墨烯晶圆的容器，递给王院士，说道：“姚院士，测试用的石墨烯晶圆都在这里了，一共二十片，一片也不少。前面的所有工序都已经完成，现在就看这台光刻机的表现了。”
姚院士接过石墨烯晶圆，迟疑了一下，继而对着王院士说道：“老王，你平常使用光刻机最多，经验最丰富，要不咱们这台光刻机，还是由你来操作吧！”
“好吧，那就让我来，有我出手，一定马到成功！”
王院士接过石墨烯晶圆盒子，颇为自信的走上操作位。他打开盒子，使用特制夹具，将盒子里的石墨烯晶圆依次取出，放在光刻机的来料托盘上。然后安装好林孟松提供的石墨烯内存芯片掩膜板，深吸一口气，按下开机按钮。随着一阵滴滴轻响，指示灯闪烁，设备开始自检，检查各个零部件是否安装到位，检查光刻生产中使用到的各种物料是否齐备，同时对光源部门，进行预热。
光刻机类型不同，使用的光源也大相径庭，例如duv光刻机使用的光源是193nm的深紫外光源。euv光刻机，使用的光源是波长13.5nm的极紫外光源。而石墨烯光刻机更进一步，使用的是波长6.6nmfel光源，理论上来说，它的极限加工精度，要比euv光刻机小很多。当然，目前瑞达科技公司推出的石墨烯手机芯片和石墨烯笔记本处理器，远远没有达到光刻机的极限加工精度。一个是现有设备不成熟，还达不到理论极限加工精度，在一个是完全没必要追求那么极限。相比传统硅基芯片，石墨烯芯片的性能实在太过厉害，发热也非常低，即使使用十nm以上的加工工艺，做出来的手机芯片，也甩开硅基手机芯片几条街。在竞争对手掌握石墨烯芯片生产技术之前，根本不用拿出过于先进的产品。
“我准备了石墨烯内存芯片和通信芯片，两块掩膜版，用来进行光刻测试。这是咱们手里最简单的石墨烯芯片了，如果这都不行，上其它复杂一些的芯片，就更难成功了。”
“那就选内存芯片好了，先来它二十片，看看这台新研发的石墨烯晶圆光刻机，能不能生产出合格的芯片。”
“好的，乔总，我们这就开始生产。”林孟松答应了一声，而后走向总控台，亲手开启了这条石墨烯芯片实验生产线。
下一刻，机械转动，天车飞驰，整条生产线，立马运行了起来，一片片石墨烯晶圆，通过传送带，机械手，在生产设备之间不断流转，进行了一个又一个工序。石墨烯芯片生产流程非常复杂，耗时非常长，而光刻环节，比较靠后，至少需要两个小时之后，才能轮到新光刻机登场测试。
乔瑞达无事可干，站在那里差点打瞌睡。倒是以诸位院士为首的研发团队成员，大部分是第一次看到完整的石墨烯芯片生产流程，那是相当之好奇。几十号人，跟着那批正在加工的石墨烯晶圆，走过一台又一台设备，看的那叫一个认真，生怕错过任何一个细节。