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第338章 EUV光刻机研发,先奖5000万!邓小岩感动了?(第2 / 7页)

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谢武是上交大校长,跟陈总有师生之名。

任人唯亲?

“光刻机第二轮研发,包括两个方面。”

提高精度的核心是光源。

当然,其他方面也要提升,但难度相对低很多。

“是!”谢武激动坏了。

深紫外光?

他听过,却没有相关研究。

当然,用同样的浸润式技术,想达到7纳米极限精度,会有一个漫长过程。

“校长。”陈皓沉声喊道。

“到!”

谢武立刻上前。

其他场合,他称呼陈皓为小陈,但在今天这场合……

以他对陈皓的了解,肯定会给出技术资料,而他也将有机会成为,该领域研发第一人!

“陈总,这……”

杜杨和顾经纶傻眼了。

新一轮研发中,谢武直接组建团队,他俩难道要打下手?

莫非……

陈皓如将军。

他为士兵。

士兵必须听命于将军——军令如山!

“由你牵头组建团队,对浸润式光刻机深度研发,开发深紫外光技术。”陈皓下达指令。

经过第一轮研发,浸润式技术已经成熟。

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