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第八十四章 见证历史,14纳米轻舟处理器问世!(第4 / 8页)

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“明白了。”

冯承铭闻言照做。

……

芯片生产车间。

20纳米制程光刻机内部。

第一块光掩膜版已经安装,光刻机镜头正射出193纳米波长的深紫外光光源,每次曝光,都会在底部的晶圆片上刻出设计好的芯片电路图案。

随着移动平台的不断移动,以及光刻机镜头的不断曝光,晶圆片被刻上了密密麻麻的芯片电路图,如果是生产20纳米芯片,现在就已经完成光刻,可以直接送交切割封装检测了。

在喝了第二杯后,拉比兹也开门见山道:“两位找我,应该不只是喝茶吧?”

“对,找你订购光刻机。”曲程不紧不慢说道。

高永明见进入正题,也说出目的道:“我们想再订一台20纳米制程的光刻机。”

“噢?你要扩大生产?”

拉比兹看向高永明询问道。

但用DUV光刻机生产14纳米芯片,一次曝光根本不能满足需求,需要二次曝光。

“取出第一块光掩膜版,安装第二块光掩膜版。”林天目光看向冯承铭说道。

冯承铭立马照做。

当第二块光掩膜版放入光刻机镜头处,林天开始亲自校准,并讲解道:“听好了,多重曝光技术难的点在于晶圆对齐,如果两次的点位出现偏差,第二次曝光将会损坏第一次曝光留下的电路图案,因此要多加小心。”

在确认没问题以后,他看向冯承铭道:“二次涂抹光刻胶,进行二次曝光步骤。”

高永明点了点头,想着怎么拖延时间道:“想试试接20纳米的订单,哦对了,14纳米的EUV光刻机你看能……”

话音未落,拉比兹打断道:“抱歉高总,EUV光刻机可不是我能够说了算的,你们自己也很清楚,到底是谁在限制你们。”

“说得也对,我们还是继续谈20纳米制程的DUV光刻机吧。”曲程打了个圆场道。

两人的任务很简单,就是拖延足够多的时间。

等另一位荷兰工程师来交班,估计就差不多了,现在就拼命拖延就完事了。

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